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当设备有极高的微振动隔振要求,且被动防微振基座无法满足要求时,结合实测环境数据,为客户设计、模拟、选型、并定制提供主动隔振解决方案。
DT-AVA电机空簧款主动隔振系统
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DT-AVA系列主动隔振系统,采用柔软型膜片式空气弹簧作为被动支撑,实现系统最佳被动隔振性能。空气弹簧采用倒立摆结构,大大降低水平方向固有频率,达到约1.6Hz;垂直方向约2.7Hz。采用超快响应的音圈电机作为致动器,配合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动抵消。采用机械水平调节系统或电控水平调节系统两种选项,满足客户不同稳姿需求。通过先进的主动隔振算法,实现多传感器信息融合和可调电阻尼协同工作。通过多通道台面反馈控制、地面前馈控制和滑台前馈控制,实现六自由度精确隔振控制。
DT-AVS-P电机钢簧款主动隔振系统
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DT-AVS-P系列主动隔振系统,采用钢弹簧作为被动支撑。采用超快响应的音圈电机作为致动器,结合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动消除。采用高精度位置传感器和音圈电机进行测量和控制平台定位位置。通过先进的主动隔振算法,实现多传感器信息融合和可调电阻尼协同工作。通过多通道台面反馈控制和地面前馈控制,实现六自由度精确隔振控制。无需压缩空气供给。特别适合于电子显微镜等的地面安装和隔振,适合真空应用。
DT-APS压电钢簧款主动隔振系统
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DT-APS系列主动隔振系统系统,采用钢弹簧作为被动支撑。采用超快响应的压电陶瓷片致动器作为执行器,结合超灵敏的压电加速度传感器,实现实时快速振动消除。采用模块化设计,可以多种组合不同产品系列。通过独立的测动器(传感器+致动器组合),实现六自由度主动隔振控制额外的地面前馈单元选项,可进一步降低系统隔振频率。无需持续维护,安装简单,操作方便。无需压缩空气供给,适合真空应用。
DT-AP高压压电主动隔振系统
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DT-AP系列主动隔振系统,采用弹性橡胶作为被动支撑。采用超快响应的高压压电叠堆致动器作为执行器,结合超灵敏的速度传感器,实现实时快速振动消除。实现六自由度主动隔振控制。无需持续维护,安装简单,操作方便。无需压缩空气供给,适合真空应用。
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